Стержень-затравка

Метод внешнего химического осаждения

Метод внешнего химического осаждения из газовой фазы (OCVD)  аналогичен методу MCVD за исключением того, что при изготовлении заготовки используется стержень-затравка (рис.1). Мельчайшие сажеподобные частицы, содержащие необходимые концентрации примесей, осаждаются на стержень-затравку непосредственно из горелки и частич­но спекаются. Материал сердцевины, обычно германий и диоксид крем­ния, осаждается первым, за ним следует материал оболочки — диоксид кремния. Так же при использовании метода MCVD показатель преломле­ния заготовки контролируют, изменяя состав примесей.

Рис.1 Осаждение

Читать далее

Разработка сайта: cryptonic