MCVD

Модифицированный метод химического осаждения из газовой фазы

Модифицированный метод  химического осаждения из газовой фа­зы (MCVD) был разработан на основе технологии производства полупро­водников. Хлоридные реагенты в газовой фазе и кислород впрыскиваются во вращающуюся трубку с диоксидом кремния. Перемещаемая горелка нагревает трубку, вызывая гомогенную реакцию, в результате которой образуются мельчайшие сажеподобные частицы окиси. Под воздействи­ем механизма термофореза эти частицы перемещаются в менее нагретую область впереди горелки и откладываются на стенках. При дальнейшем движении горелка сплавляет частицы, и они образуют на внутренних стенках трубки стеклянное покрытие высокой чистоты. Изменение тол­щины и показателя преломления стеклянного слоя достигается изменени­ем концентрации таких реагентов, как тетрахлорид кремния и тетрахлорид германия. Схема этого метода приведена на рис. 1.

Рис.1 Модифицированный метод химического осаждения из газовой фазы

Читать далее

Разработка сайта: cryptonic